Innovative Ventiltechnologie der Series E auf der Semicon Europa

Die drei Unternehmen der Busch Group – Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions und centrotherm clean solutions – stellten gemeinsam auf der Messe Semicon Europa 2024 in München aus.

Besucher der Semicon Europa konnten mit Experten der Busch Group über Vakuumpumpen, Leckdetektoren, Abgasreinigungssysteme und Ventile sprechen.

Die Turbomolekular-Vakuumpumpen HiPace 3400 IT von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions wurden speziell für anspruchsvolle Anwendungen der Ionenimplantation entwickelt und sind die kompaktesten Turbopumpen ihrer Klasse. Bei den TORRI BD 0100/0600 (https://www.buschvacuum.com/de/de/products/vacuum-pumps/rotary-lobe/torri/) von Busch Vacuum Solutions handelt es sich um ölfreie mehrstufige Drehkolben-Vakuumpumpen. Sie bieten kurze Abpumpzeiten für Schleusenkammern und zeichnen sich dadurch aus, dass sie klein, leicht und energieeffizient sind. Die thermische Abgasreinigungstechnologie von centrotherm clean solutions kombiniert die Vorteile der Verbrennung mit einer elektrisch beheizten Abgasbehandlung und bietet eine nachhaltige Lösung mit minimalem CO-Fußabdruck für CVD- und Metallätzprozesse.

Als besonderes Highlight wurde auf der Messe das neue Produkt Series E (https://www.pfeiffer-vacuum.com/global/de/shop/products/EAV_A05150) von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions vorgestellt. Mit herausragender Steuerung, Energieeffizienz und Zuverlässigkeit sowie erheblichen Kosteneinsparungen setzen diese elektrischen Eckventile für Hochvakuumanwendungen einen neuen Industriestandard. Die Series E bietet ein erstklassiges elektrisches Antriebssystem, das auf Präzision und Robustheit ausgelegt ist. Der eingebaute „Failsafe-Mechanismus“ gewährleistet das Schließen des Ventils bei Stromausfall. Bei Wartungsarbeiten ermöglicht der lokale Modus den Betrieb vor Ort. Dies reduziert die mechanischen Belastungen und sorgt für eine gleichbleibende, sichere Leistung.
Die Ventile arbeiten im Bereich von 10-3 bis 10-9 mbar äußerst zuverlässig. Der mit 24 V DC betriebene hocheffiziente elektrische Antrieb und die robuste Elastomerdichtung stellen eine hohe Lebensdauer sicher. Der rechtwinklige Aufbau erleichtert die Integration und verbessert die Systemkompatibilität und Benutzerfreundlichkeit.

Über die Busch Group

Die Busch Group ist weltweit einer der größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen, Kompressoren und Abgasreinigungssystemen. Unter ihrem Dach vereint sie die drei bekannten Marken Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions und centrotherm clean solutions.

Das umfangreiche Produkt- und Dienstleistungsportfolio umfasst Lösungen für Vakuum-, Überdruck- und Abgasreinigungsanwendungen in sämtlichen Branchen, wie zum Beispiel Lebensmittel, Halbleiter, Analytik, Chemie und Kunststoff. Dazu gehören auch die Konzeption und der Bau maßgeschneiderter Vakuumsysteme sowie ein weltweites Servicenetz.

Die Busch Group ist ein Familienunternehmen, dessen Leitung in den Händen der Familie Busch liegt. Mehr als 8.000 Mitarbeiter in 44 Ländern weltweit arbeiten für die Gruppe. Der Hauptsitz von Busch befindet sich im baden-württembergischen Maulburg, im Dreiländereck Deutschland- Frankreich- Schweiz.

Die Busch Group produziert in ihren 19 eigenen Werken in China, Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Indien, Rumänien, der Schweiz, Südkorea, Tschechien, den USA und Vietnam.

Sie hat einen konsolidierten Jahresumsatz von fast 2 Milliarden Euro.
www.buschgroup.com

Kontakt
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
Sabine Neubrand
Berliner Strasse 43
35614 Asslar
+49 6441 802 1223
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https://www.pfeiffer-vacuum.com